真空等离子清洗机
真空等离子清洗机属于电子工业的干法清洗,在一定的真空条件下,对气体施加能量使其成为等离子状态,等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等,通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
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